Im Mittelpunkt stehen die Entwicklung und die Verbesserung neuer Fertigungsgeräte und der damit verbundenen Methoden und Prozesse bis hin zur Implementierung in die industrielle Produktion. Dabei wird besonderer Wert auf Fragen der Ausbeute- und Durchsatzoptimierung, Prozesskompatibilität, Kontamination, Sicherheit, der umweltfreundlichen Fertigung und Ressourcenoptimierung gelegt. Einsatzfelder liegen beispielsweise in der Prozessautomatisierung, der Gerätevorqualifizierung, der integrierten und virtuellen Messtechnik sowie der Analytik im nach ISO 17025 akkreditierten IISB-Analytiklabor für die Mikro- und Nanotechnologie.