Halbleiterfertigungsgeräte und -methoden

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

Im Mittelpunkt stehen die Entwicklung und die Verbesserung neuer Fertigungsgeräte und der damit verbundenen Methoden und Prozesse bis hin zur Implementierung in die industrielle Produktion. Dabei wird besonderer Wert auf Fragen der Ausbeute- und Durchsatzoptimierung, Prozesskompatibilität, Kontamination, Sicherheit, der umweltfreundlichen Fertigung und Ressourcenoptimierung gelegt. Einsatzfelder liegen beispielsweise in der Prozessautomatisierung, der Gerätevorqualifizierung, der integrierten und virtuellen Messtechnik sowie der Analytik im nach ISO 17025 akkreditierten IISB-Analytiklabor für die Mikro- und Nanotechnologie.

Ansprechpartner

  • Prof. Dr. Lothar Pfitzner

    Abteilungsleiter

    Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

    Schottkystraße 10
    91058 ErlangenDeutschland

    • Telefon +49 9131 761 - 110
    • Fax +49 9131 761 - 112