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Arbeitsgruppen
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Der komplexe Prozeß der Halbleiterfertigung stellt neben der Einzelprozeßbeherrschung auch weitreichende Anforderungen an Planung, Fertigungssteuerung, Logistik und Qualitätskontrolle. Arbeitsschwerpunkte der Gruppe Fertigungstechnik sind daher prozeßübergreifende Steuerungs- bzw. Regelungsverfahren zur Prozeßanpassung und -stabilisierung sowie Qualitäts- und Produktmonitoring im Hinblick auf eine flexible Fertigung.
Eine hohe Ausbeute ist das wichtigste Ziel jedes Bauelemente- prozesses. Bei immer kleiner werdenden Strukturen, dünneren Schichten, neuen Materialien und komplexeren Designs ist daher der Schutz vor Kontamination eine ständige Herausforderung.
Die Wirtschaftlichkeit von Halbleiterfertigungen hängt entscheidend von einer zuverlässig hohen Prozeßqualität und dem Nutzungsgrad der teueren Geräteausstattung ab. Fortschrittliche Verfahren der Meß-, Steuer- und Regelungstechnik, wie sie die Gruppe Geräteauto- matisierung entwickelt und anbietet, sind daher für eine umfassende Gerätekontrolle und laufende Qualitätssicherung unverzichtbar.
