Der komplexe Prozeß der Halbleiterfertigung stellt neben der Einzelprozeßbeherrschung auch weitreichende Anforderungen an Planung, Fertigungssteuerung, Logistik und Qualitätskontrolle. Arbeitsschwerpunkte der Gruppe Fertigungstechnik sind daher prozeßübergreifende Steuerungs- bzw. Regelungsverfahren zur Prozeßanpassung und -stabilisierung sowie Qualitäts- und Produktmonitoring im Hinblick auf eine flexible Fertigung. Das Leistungsangebot umfaßt die Konzipierung und Realisierung von vorwärts- und rückwärtsgekoppelten Steuerungen/Regelungen (Feed Forward bzw. Feedback) unter Nutzung oder Implementierung von standardisierten Schnittstellen (z. B. SECS, GEM), neue statistische Auswerteverfahren zum Produktmonitoring sowie Wirtschaftlichkeits- untersuchungen bei der Integration von in-line oder in situ-Meßtechnik.