Kontamination und Materialien

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

Eindosierung von Gasproben für einen Filtertest

Kontamination und Materialien

Eine hohe Ausbeute ist das wichtigste Ziel jedes Bauelementeprozesses. Bei immer kleiner werdenden Strukturen, dünneren Schichten, neuen Materialien und komplexeren Designs ist daher der Schutz vor Kontamination eine ständige Herausforderung. Modernste chemische und physikalische Analysentechnik, verbunden mit ausgefeilten Präparationsverfahren, wie sie die Gruppe Materialien und Kontamination anbietet und auf die speziellen Kundenanfragen hin anpasst, sind für die Qualitätssicherung von Medien, Materialien und Prozessen unverzichtbar. Wir erarbeiten und realisieren Lösungen zur Charakterisierung von Scheiben, Prozessen, Medien, Materialien und Geräten bezüglich ihres Kontaminationsverhaltens, zur Ermittlung der Kontaminationsquellen und zum Nachweis der Reinraumtauglichkeit.