Technologie

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

Die Abteilung Technologie entwickelt neue halbleitertechnologische Materialien, Bauelemente, Prozesse und Herstellungsmethoden für CMOS (VLSI, ULSI), Nanoelektronik und Leistungselektronik. Dafür stehen vollständige Prozesslinien auf Silicium und Siliciumcarbid zur Verfügung. Im Speziellen umfassen die Tätigkeiten und Kompetenzen unter anderem Oberflächen- und Dünnschichttechnik für neue Materialien, Prozesse für dünne dielektrische und metallische Schichten, Ionenimplantation, Schaltkreismodifikation und IC-Reparatur, Nanostrukturierung, Partikelelektronik, Messtechnik und Analytik sowie die Entwicklung von passiven Bauelementen.

Ansprechpartner

  • Dr.-Ing. Anton Bauer

    Abteilungsleiter

    Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

    Schottkystraße 10
    91058 ErlangenDeutschland

    • Telefon +49 9131 761 - 308
    • Fax +49 9131 761 - 360