Technologie bedeutet für uns vor allem Forschung, aber auch Dienstleistung für die Entwicklung elektronischer Bauelemente auf allen Größen­skalen. Von der Nanoelektronik bis hin zur gedruckten Makroelektronik sind wir Ansprech­partner für die Realisierung und Charakterisierung von Einzelprozessen, Bauelementen und Kleinserien. Aufbauend auf einer sehr umfang­reichen Reinraumausstattung bilden die Silicium- und Siliciumcarbid-Dünn­schicht­technologie das Rückgrat. Beispiele für aktuelle Aktivitäten sind die höchstaufgelöste elektrische Charakterisierung neuartiger dielektrischer Schichten, die Entwicklung massgeschneiderter Ionen­implantations­techniken, fortschrittliche integrierbare Leistungs­bau­elemente, Druck­verfahren für anorganische Funktions­materialien oder Präparation von Nanostrukturen mittels fokussierter Ionenstrahlen. Zunehmend rückt dabei auch die heterogene Integration verschiedener Elektroniktechnologien in den Mittelpunkt.