Allgemeine Prozesstechnik

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

Reinraumlabor am Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente

Allgemeine Prozesstechnik

Schwerpunkt der Arbeitsgruppe ist die Erforschung und Weiterentwicklung von Herstellungsverfahren für die Gedruckte Elektronik und die Siliciumtechnologie. Bei der Integration von Materialien und Prozess-Schritten zu neuartigen Bauelementestrukturen interessieren uns insbesondere die Wechselwirkungen zwischen der Prozessführung und den erzielbaren elektrischen Eigenschaften der Anwendungen.