Nutzergruppe Ionenimplantation
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Die Nutzergruppe Ionenimplantation wurde im Jahre 1987 von Hans Glawischnig (Siemens AG) und Heiner Ryssel (Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie, Erlangen und Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg) nach dem Vorbild der GSVIUG (Greater Silicon Valley Ion Implant User Group) gegründet. Bis zum 25. Treffen wurden die Protokolle der Sitzung mit Kopien der gezeigten Folien postalisch versandt bzw. auf der darauf folgenden Sitzung verteilt. Seit dem 25. Treffen existiert diese Homepage und alle Einladungen und Protokolle werden nur noch elektronisch verteilt.
Die Veranstaltungen der Nutzergruppe Ionenimplantation werden gemeinsam von der ITG-Fachgruppe 8.1.1 und der GMM-Fachgruppe 1.2.2 organisiert.
Aus der Nutzergruppe Ionenimplantation ging die Nutzergruppe Heißprozesse und RTP hervor. Seither werden die Treffen der beiden Gruppen an zwei aufeinander folgenden Tagen durchgeführt. Am Nachmittag des ersten Tages findet das Nutzertreffen Heißprozesse und RTP, am zweiten Tag das Nutzertreffen Ionenimplantation statt.
Themen der vergangenen Treffen
Nr. |
Ort |
Thema |
| 49. | Fraunhofer IISB, Erlangen |
Prozesskontrolle, Energieeffizienz |
| 48. | PLANSEE SE, Reutte/Österreich |
Rückblich auf die IIT 2012 sowie alle aktuellen Themen aus der Ionenimplantation |
|
47. |
Fraunhofer IISB, Erlangen |
|
|
46. |
centrotherm GmbH & Co. KG, Blaubeuren |
|
|
45. |
Fraunhofer IISB, Erlangen |
|
|
44. |
Robert Bosch GmbH, Reutlingen |
|
|
43. |
Fraunhofer IISB, Erlangen |
Neue Anforderungen in der Ionenimplantation, Implantation exotischer Elemente |
|
42. |
Rubitec, Bochum |
Implantation für Leistungsbauelemente, Implantation von Ge-Ionen, Ionenmix |
|
41. |
Fraunhofer IISB, Erlangen |
|
|
40. |
ELMOS, Dortmund |
|
|
39. |
Fraunhofer IISB, Erlangen |
|
|
38. |
Forschungszentrum Dresden-Rossendorf |
|
|
37. |
Fraunhofer IISB, Erlangen |
|
|
36. |
Infineon, Villach |
|
|
35. |
Fraunhofer IISB, Erlangen |
|
|
34. |
Reutte, Tirol |
|
|
33. |
Fraunhofer IISB, Erlangen |
|
|
32. |
Micronas, Freiburg, |
|
|
31. |
Fraunhofer IISB,Erlangen, |
Silicon on Insulator und |
|
30. |
Texas Instruments, Freising, |
|
|
29. |
Fraunhofer IISB, Erlangen, |
|
|
28. |
IHP, Frankfurt (Oder), |
|
|
27. |
FhG, Erlangen, |
|
|
26. |
Infineon, München, |
|
|
25. |
FhG, Erlangen, |
Wartung und Requalifizierung |
|
24. |
FhG, Erlangen, |
Großflächige Ionenimplantation |
|
23. |
FhG, Erlangen, |
Kontrolle der Ionenimplantation |
|
22. |
IMSAS, Bremen, |
Neue Implantationssysteme |
|
21. |
FhG, Erlangen, |
Prozesskontrolle |
|
20. |
Siemens, Dresden, |
Hochenergie, SDS |
|
19. |
Bosch, Reutlingen, |
Neue Maschinentrends und FIB |
|
18. |
Thesys, Erfurt, |
Charging |
|
17. |
Universität Bochum, Bochum, |
Messtechnik, Analytik |
|
16. |
Siemens, Regensburg, |
|
|
15. |
FhG, Erlangen, |
Flache pn-Übergänge |
|
14. |
Eaton, Kirchheim, |
|
|
13. |
ZMD, Dresden, |
|
|
12. |
Philips, Hamburg, |
Neue Bundesländer (Scanibal......) |
|
11. |
FhG, Erlangen, |
Umwelt, Entsorgung, Anlagenmodi |
|
10. |
App. Mat., Ismaning, |
Ausheilung, Defekte, Implantationsfehler |
|
9. |
Siemens, Regensburg, |
Anlagenentwicklung |
|
8. |
IMS, Stuttgart, |
SIMOX, Dosismessung, Round Robin |
|
7. |
Siemens, Balanstr., |
Simulation, Meßtechnik |
|
6. |
Varian, Stuttgart, |
SPC |
|
5. |
Siemens, Balanstr., |
Partikel und Kontamination |
|
4. |
FhG, Erlangen, |
Flood Gun, Teststrukturen, Simulation |
|
3. |
Siemens, Balanstr., |
Sicherheit von Implantationsanlagen |
|
2. |
IBM, Böblingen, |
Charakterisierung, Simulation |
|
1. |
Siemens, Balanstr., |
Gründerversammlung |