Nutzergruppe Ionenimplantation

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

Die Nutzergruppe Ionenimplantation wurde im Jahre 1987 von Hans Glawischnig (Siemens AG) und Heiner Ryssel (Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie, Erlangen und Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg) nach dem Vorbild der GSVIUG (Greater Silicon Valley Ion Implant User Group) gegründet. Bis zum 25. Treffen wurden die Protokolle der Sitzung mit Kopien der gezeigten Folien postalisch versandt bzw. auf der darauf folgenden Sitzung verteilt. Seit dem 25. Treffen existiert diese Homepage und alle Einladungen und Protokolle werden nur noch elektronisch verteilt.

Die Veranstaltungen der Nutzergruppe Ionenimplantation werden gemeinsam von der ITG-Fachgruppe 8.1.1 und der GMM-Fachgruppe 1.2.2 organisiert.

Aus der Nutzergruppe Ionenimplantation ging die Nutzergruppe Heißprozesse und RTP hervor. Seither werden die Treffen der beiden Gruppen an zwei aufeinander folgenden Tagen durchgeführt. Am Nachmittag des ersten Tages findet das Nutzertreffen Heißprozesse und RTP, am zweiten Tag das Nutzertreffen Ionenimplantation statt.

Themen der vergangenen Treffen

Nr.

Ort

Thema

52.

Infineon Technologies, Dresden
13. November 2014

Rückblick auf die IIT 2014 sowie Vorstellung von Nutzergruppen

51.

Fraunhofer IISB, Erlangen
3. April 2014

Vakuumerzeugung und Prozesskontrolle

50.

IHP GmbH, Frankfurt (Oder)
7. November 2013

Jubiläum der Nutzergruppe

49.

Fraunhofer IISB, Erlangen
11. April 2013

Prozesskontrolle,
Energieeffizienz

48.

PLANSEE SE, Reutte/Österreich
27. September 2012
Rückblich auf die IIT 2012 sowie alle aktuellen Themen aus der Ionenimplantation

47.

Fraunhofer IISB, Erlangen
22. März 2012

Anlagen- und Prozessmonitoring

46.

centrotherm GmbH & Co. KG, Blaubeuren
24. November 2011

Partikel: Anforderungen, Vermeidung & Messung

45.

Fraunhofer IISB, Erlangen
12. Mai 2011

Erfahrungen mit Chain-Implants,
Line etch roughness

44.

Robert Bosch GmbH, Reutlingen
11. November 2010

Low power devices

43.

Fraunhofer IISB, Erlangen
6. Mai 2010

Neue Anforderungen in der Ionenimplantation, Implantation exotischer Elemente

42.

Rubitec, Bochum
12. November 2009

Implantation für Leistungsbauelemente, Implantation von Ge-Ionen, Ionenmix

41.

Fraunhofer IISB, Erlangen
7. Mai 2009

Verschiedene Themen

40.

ELMOS, Dortmund
24. Oktober 2008

IIT 2008 sowie Fernwartung, Vernetzung und Datensicherheit

39.

 

Fraunhofer IISB, Erlangen
9. Mai 2008

 

Verschiedene Themen

 

38.

 

Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
9. November 2007

 

Neue Dotierungen für zukünftige Bauelemente

 

37.

 

 

Fraunhofer IISB, Erlangen
11. Mai 2007

 

Neue Dotierungen für zukünftige Bauelemente, Statistik

 

36.

 

Infineon, Villach
24. November 2006

 

Prozess- und Maschinenkontrolle, Clusterionen

 

35.

 

Fraunhofer IISB, Erlangen
19. Mai 2006

 

Kontamination / Erfahrungen mit alternativen Gassystemen

 

34.

 

Reutte, Tirol
11. November 2005

 

International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS)

 

33.

 

Fraunhofer IISB, Erlangen
13. Mai 2005

 

Exotische Ionen/Sicherheit

 

32.

 

Micronas, Freiburg,
14. Mai 2004

 

Prozess- und Maschinenkontrolle

 

31.

 

Fraunhofer IISB,Erlangen,
28. November 2003

 

Silicon on Insulator und
Batch Processing vs Single Wafer Processing

 

30.

 

Texas Instruments, Freising,
16. Mai 2003

 

Sicherheit/Dosimetrie

 

29.

 

Fraunhofer IISB, Erlangen,
08.11.2002

 

Aufladungseffekte (Charging) und Dosimetrie

 

28.

 

IHP, Frankfurt (Oder),
26.04.2002

 

Devices / Implanter Matching und Kontamination

 

 

27.

 

FhG, Erlangen,
16.11.2001

 

Source Drain Engineering und Kanaldotierung

 

26.

 

Infineon, München,
11.5.2001

 

Neue Anlagen und Erfahrungen mit neuen Anlagen

 

25.

 

FhG, Erlangen,
5.5.2000

 

Wartung und Requalifizierung
(3 MB)

 

24.

 

FhG, Erlangen,
19.11.99

 

Großflächige Ionenimplantation
(19 MB)

 

23.

 

FhG, Erlangen,
7.5.99

 

Kontrolle der Ionenimplantation
(12 MB)

 

22.

 

IMSAS, Bremen,
12.11.98

 

Neue Implantationssysteme
(11 MB)

 

21.

 

FhG, Erlangen,
29.5.98

 

Prozesskontrolle
(8 MB)

 

20.

 

Siemens, Dresden,
30.10.97

 

Hochenergie, SDS
(15 MB)

 

19.

 

Bosch, Reutlingen,
25.4.97

 

Neue Maschinentrends und FIB
(4 MB)

 

18.

 

Thesys, Erfurt,
11.10.96

 

Charging
(6 MB)

 

17.

 

Universität Bochum, Bochum,
26.4.96

 

Messtechnik, Analytik
(2 MB)

 

16.

 

Siemens, Regensburg,
20.10.95

 

Messtechnik, Anlagenkontrolle
(8 MB)

 

15.

 

 

FhG, Erlangen,
27.4.95

 

Flache pn-Übergänge
(3 MB)

 

14.

 

Eaton, Kirchheim,
27.9.94

 

Vorstellung der Arbeitsgruppen
(3 MB)

 

13.

 

ZMD, Dresden,
2.12.1993

 

Vorstellung der Arbeitsgruppen
(4 MB)

 

12.

 

Philips, Hamburg,
11.2.93

 

Neue Bundesländer (Scanibal......)

 

11.

 

FhG, Erlangen,
4.6.92

 

Umwelt, Entsorgung, Anlagenmodi

 

10.

 

App. Mat., Ismaning,
2.10.91

 

Ausheilung, Defekte, Implantationsfehler

 

9.

 

Siemens, Regensburg,
26.2.91

 

Anlagenentwicklung

 

8.

 

IMS, Stuttgart,
26.9.90

 

SIMOX, Dosismessung, Round Robin

 

7.

 

Siemens, Balanstr.,
31.1.90

 

Simulation, Meßtechnik

 

6.

 

Varian, Stuttgart,
21.9.89

 

SPC

 

5.

 

Siemens, Balanstr.,
26.1.89

 

Partikel und Kontamination

 

4.

 

FhG, Erlangen,
22.9.88

 

Flood Gun, Teststrukturen, Simulation

 

3.

 

Siemens, Balanstr.,
10.3.88

 

Sicherheit von Implantationsanlagen

 

2.

 

IBM, Böblingen,
5.10.87

 

Charakterisierung, Simulation

 

1.

 

Siemens, Balanstr.,
15.5.87

 

Gründerversammlung