Nutzergruppe Ionenimplantation
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Die Nutzergruppe Ionenimplantation wurde im Jahre 1987 von Hans Glawischnig (Siemens AG) und Heiner Ryssel (Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie, Erlangen und Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg) nach dem Vorbild der GSVIUG (Greater Silicon Valley Ion Implant User Group) gegründet. Bis zum 25. Treffen wurden die Protokolle der Sitzung mit Kopien der gezeigten Folien postalisch versandt bzw. auf der darauf folgenden Sitzung verteilt. Seit dem 25. Treffen existiert diese Homepage und alle Einladungen und Protokolle werden nur noch elektronisch verteilt.
Die Veranstaltungen der Nutzergruppe Ionenimplantation werden gemeinsam von der ITG-Fachgruppe 8.1.1 und der GMM-Fachgruppe 1.2.2 organisiert.
Aus der Nutzergruppe Ionenimplantation ging die Nutzergruppe Heißprozesse und RTP hervor. Seither werden die Treffen der beiden Gruppen an zwei aufeinander folgenden Tagen durchgeführt. Am Nachmittag des ersten Tages findet das Nutzertreffen Heißprozesse und RTP, am zweiten Tag das Nutzertreffen Ionenimplantation statt.
Themen der vergangenen Treffen
Nr.
|
Ort
|
Thema
|
|---|---|---|
| 47. | Fraunhofer IISB, Erlangen 22. März 2012 |
Anlagen- und Prozessmonitoring |
| 46. | centrotherm GmbH & Co. KG, Blaubeuren |
Partikel: Anforderungen, Vermeidung & Messung |
| 45. | Fraunhofer IISB, Erlangen |
Erfahrungen mit Chain-Implants, Line etch roughness |
| 44. |
Robert Bosch GmbH, Reutlingen 11. November 2010 |
Low power devices |
| 43. |
Fraunhofer IISB, Erlangen 6. Mai 2010 |
Neue Anforderungen in der Ionenimplantation, Implantation exotischer Elemente |
| 42. |
Rubitec, Bochum 12. November 2009 |
Implantation für Leistungsbauelemente, Implantation von Ge-Ionen, Ionenmix |
| 41. |
Fraunhofer IISB, Erlangen 7. Mai 2009 |
Verschiedene Themen |
| 40. |
ELMOS, Dortmund 24. Oktober 2008 |
IIT 2008 sowie Fernwartung, Vernetzung und Datensicherheit |
| 39. |
Fraunhofer IISB, Erlangen 9. Mai 2008 |
Verschiedene Themen |
| 38. |
Forschungszentrum Dresden-Rossendorf 9. November 2007 |
Neue Dotierungen für zukünftige Bauelemente |
| 37. |
Fraunhofer IISB, Erlangen 11. Mai 2007 |
Neue Dotierungen für zukünftige Bauelemente, Statistik |
| 36. |
Infineon, Villach 24. November 2006 |
Prozess- und Maschinenkontrolle, Clusterionen |
| 35. |
Fraunhofer IISB, Erlangen 19. Mai 2006 |
Kontamination / Erfahrungen mit alternativen Gassystemen |
| 34. |
Reutte, Tirol 11. November 2005 |
International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) |
| 33. |
Fraunhofer IISB, Erlangen 13. Mai 2005 |
Exotische Ionen/Sicherheit |
| 32. |
Micronas, Freiburg, 14. Mai 2004 |
Prozess- und Maschinenkontrolle |
| 31. |
Fraunhofer IISB,Erlangen, 28. November 2003 |
Silicon on Insulator und Batch Processing vs Single Wafer Processing |
| 30. |
Texas Instruments, Freising, 16. Mai 2003 |
Sicherheit/Dosimetrie |
| 29. |
Fraunhofer IISB, Erlangen, 08.11.2002 |
Aufladungseffekte (Charging) und Dosimetrie |
| 28. |
IHP, Frankfurt (Oder), 26.04.2002 |
Devices / Implanter Matching und Kontamination |
| 27. |
FhG, Erlangen, 16.11.2001 |
Source Drain Engineering und Kanaldotierung |
| 26. |
Infineon, München, 11.5.2001 |
Neue Anlagen und Erfahrungen mit neuen Anlagen |
| 25. |
FhG, Erlangen, 5.5.2000 |
Wartung und Requalifizierung (3 MB) |
| 24. |
FhG, Erlangen, 19.11.99 |
Großflächige Ionenimplantation (19 MB) |
| 23. |
FhG, Erlangen, 7.5.99 |
Kontrolle der Ionenimplantation (12 MB) |
| 22. |
IMSAS, Bremen, 12.11.98 |
Neue Implantationssysteme (11 MB) |
| 21. |
FhG, Erlangen, 29.5.98 |
Prozesskontrolle (8 MB) |
| 20. |
Siemens, Dresden, 30.10.97 |
Hochenergie, SDS (15 MB) |
| 19. |
Bosch, Reutlingen, 25.4.97 |
Neue Maschinentrends und FIB (4 MB) |
| 18. |
Thesys, Erfurt, 11.10.96 |
Charging (6 MB) |
| 17. |
Universität Bochum, Bochum, 26.4.96 |
Messtechnik, Analytik (2 MB) |
| 16. |
Siemens, Regensburg, 20.10.95 |
Messtechnik, Anlagenkontrolle (8 MB) |
| 15. |
FhG, Erlangen, 27.4.95 |
Flache pn-Übergänge (3 MB) |
| 14. |
Eaton, Kirchheim, 27.9.94 |
Vorstellung der Arbeitsgruppen (3 MB) |
| 13. |
ZMD, Dresden, 2.12.1993 |
Vorstellung der Arbeitsgruppen (4 MB) |
| 12. |
Philips, Hamburg, 11.2.93 |
Neue Bundesländer (Scanibal......) |
| 11. |
FhG, Erlangen, 4.6.92 |
Umwelt, Entsorgung, Anlagenmodi |
| 10. |
App. Mat., Ismaning, 2.10.91 |
Ausheilung, Defekte, Implantationsfehler |
| 9. |
Siemens, Regensburg, 26.2.91 |
Anlagenentwicklung |
| 8. |
IMS, Stuttgart, 26.9.90 |
SIMOX, Dosismessung, Round Robin |
| 7. |
Siemens, Balanstr., 31.1.90 |
Simulation, Meßtechnik |
| 6. |
Varian, Stuttgart, 21.9.89 |
SPC |
| 5. |
Siemens, Balanstr., 26.1.89 |
Partikel und Kontamination |
| 4. |
FhG, Erlangen, 22.9.88 |
Flood Gun, Teststrukturen, Simulation |
| 3. |
Siemens, Balanstr., 10.3.88 |
Sicherheit von Implantationsanlagen |
| 2. |
IBM, Böblingen, 5.10.87 |
Charakterisierung, Simulation |
| 1. | Siemens, Balanstr., 15.5.87 |
Gründerversammlung |