Simulation

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

Wir entwickeln physikalische Modelle und leistungsfähige Simulationsprogramme zur Optimierung von Einzelprozessen und Prozessfolgen in der Halbleitertechnologie und transferieren diese in die Anwendung. Des Weiteren wird die Entwicklung von Prozessen, Bauelementen und Schaltungen durch Simulation unterstützt. Verstärkt wird die Kopplung von elektrischen, thermischen, optischen und mechanischen Simulationen betrieben.

Arbeitsgruppen

Forschung | Projekte

Material von der Jahrestagung 2011

Ansprechpartner

  • Dr.-Ing. Jürgen Lorenz

    Abteilungsleiter

    Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

    Schottkystraße 10
    91058 ErlangenDeutschland

    • Telefon +49 9131 761 - 210
    • Fax +49 9131 761 - 212