Die Abteilung Technologiesimulation entwickelt physikalische Modelle und leistungsfähige Simulationsprogramme zur Optimierung von Einzelprozessen und Prozessfolgen in der Halbleitertechnologie und transferiert diese in die Anwendung. Des Weiteren wird die Entwicklung von Prozessen, Bauelementen und Schaltungen durch Simulation unterstützt. Besondere Kompetenz besteht in Maskendesign und Geräteentwicklung durch prädiktive Lithographiesimulation. Verstärkt wird die Kopplung von elektrischen, thermischen, optischen und mechanischen Simulationen betrieben.

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Material von der Jahrestagung 2011