Das Analytik-Labor für Mikro- und Nanotechnologie am Erlanger Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB wurde durch die Deutsche Gesellschaft für Akkreditierung nach DIN EN ISO/IEC 17025:2005 akkreditiert. Das Prüflabor in Erlangen führt Tests im Bereich physikalische, physikalisch-chemische und chemische Analyse von Substraten, Medien und Materialien für die Mikro- und Nanotechnologie durch.

Die akkreditierten Methoden des Prüflabors sind:

• Probenvorbereitung

• Oberflächen-Präparations-System (Wafer Surface Preparation System - WSPS) und Gasphasen-Zersetzung (Vapor Phase Decomposition VPD) mit Tropfen-Scanner – Probenvorbereitung für die Bestimmung von metallischen Verunreinigungen auf Siliziumwafern
• Referenzwafer-Präparation – Präparation von Silizium-Wafern mit definierter Verunreinigung durch anorganische und organische Verbindungen

• Physikalische, physikalisch-chemische und chemische Analyse

• Defektinspektion (Surface Scanning Inspection System - SSIS) – Defekterkennnung auf Oberflächen von Silizium-Wafern (defect detection on silicon wafer surfaces)
• Graphitrohr-Atomabsorptionsspektroskopie (AAS) – Spurenanalytik von Metallen in wässrigen Lösungen
• Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektrometer (TXRF) – Spurenanalytik von chemischen Elementen auf Substraten
• Ionen Chromatographie (IC) – Bestimmung von Anionen und Kationen in wässrigen Lösungen
• Fourier-Transformations-Infrarotspektroskopie (FTIR) – Qualitative Analyse von flüssigen und festen Proben
• Gaschromatographie mit Massenspektrometrie (GCMS) in Kombination mit thermischer Desorptions-Kammer - Bestimmung von organischen Verbindungen in Lösungen, von Substraten und Materialien, Bestimmung von flüchtigen organischen Verbindungen

Am IISB werden Halbleiterprozesse charakterisiert und Proben von Halbleiterscheiben, Reinstchemikalien, Verbrauchsmaterialien oder Konstruktionswerkstoffen untersucht. Diese kommen in Schlüsselindustrien, wie z.B. der Chipindustrie, der Mikrosystemtechnik oder der Photovoltaik, zum Einsatz. Weiterhin finden Ausrüster und Zulieferer für Hightech-Produktionsanlagen und messtechnische Überwachungseinrichtungen Unterstützung. Ein weiteres Spezialgebiet ist die Kontrolle von Umgebungsbedingungen und Kontaminationen in Reinsträumen und sogenannten Minienvironments. In all diesen Bereichen profitieren vor allem auch kleine und mittlere Unternehmen, die sich keine eigene Labor-Infrastruktur leisten können oder wollen.