| Messtechnik und Analytik |
| Chemische Charakterisierung: |
| Gasphasenzersetzung (VPD) mit und ohne automatischem Tropfenscanner |
| Pack Extraction Method (PEM) |
| Scheibenoberflächenpräparationssystem (WSPS) |
| TOC-/DOC-Messgeräte |
| Optische Charakterisierung: |
| Atomabsorptionsspektrometer (AAS) |
| Optische Emissionspektroskopie (ICP-OES) |
| Defektinspektion auf unstrukturierten Scheibenoberflächen |
| IR-Thermographie |
| Fouriertransformations-Infrarot-Spektroskopie (FTIR) |
| Mikroskop mit digitaler Bildverarbeitung |
| Optisches System zur Siliciumscheibeninspektion und Defektklassifikation |
| Partikelkontamination (für strukturierte und nicht strukturierte Scheiben) |
| Partikelmessungen |
| Partikelzähler für flüssige und gasförmige Medien und zur Überwachung der Reinraumqualität |
| Photometer |
| Schichtdicken (optisch mit Ellipsometer oder Interferometer, mechanisch mit Profilometer, schnelles Interferometer für in situ-Messungen, Spektralellipsometer (in situ, ex situ)) |
| Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz-Analyse (TXRF) |
| UV / VIS / NIR Spektrometer |
| Physikalische Charakterisierung: |
| Flüssigchromatograph (LC) |
| Kontaktwinkelmessgerät |
| Mikroviskosimeter und Dichtemessung |
| Kalorimetrie, Thermodynamik (DTA und DSC) |
| Störstellen-Konzentration (Deep Level Transient Spectroscopy (DLTS)) |
| Gaschromatograph-Massenspektrometer mit Thermodesorption (TD)-GC-MS |
| Magnetsektorfeld-Massenspektrometer |
| Stressmessplatz |
| 2 Feinfokusionenstrahlanlagen (FIB) |
| Neutralteilchen-Massenspektrometer (SNMS) |
| Photoelektronen-Spektrometer (XPS) |
| Rasterelektronenmikroskopie (REM) mit energiedispersiver Röntgenstrahlanalyse (EDX) |
| Röntgendiffraktometrie (XRD) und Röntgenreflektometrie (XRR) |
| Rastersondenmikroskope für elektrische Messungen: Tunnel- bzw. Leckstrombestimmung (TUNA, c-AFM), Bestimmung des Ausbreitungswiderstands (SSRM), Kapazitätsmessung (SCM) |
| Scheibendicke und -form (kapazitiv) |
| Schichtdicken (mechanisch mit Profilometer) |
| Strukturbreiten (Rasterelektronenmikroskop, Laserrastermikroskop, AFM) |
| Thermodesorption |
| Thermowellenanalyse |
| Transmissionselektronenmikroskop (TEM) |
| Elektrische Charakterisierung: |
| Diffusionslänge und Lebensdauer von Minoritätsladungsträgern (Electrolytical Metal Tracer (ELYMAT)), Microwave Detected Photoconductivity Decay (μ-PCD), Surface Photovoltage (SPV) |
| Widerstandsmapping (Vierspitzen und Spreading Resistance) |
| Kontaktloses Oxidparametermapping (Oxiddicke und -ladung, Grenzflächenzustandsdichte) |
| I(U)- und C(U)-Messungen mit manuellen oder automatischen Scheibenprobern, Impuls- und Funktionsgeneratoren |
| Impedanzanalysator, Parameteranalysator |
| Profile von Ladungsträgerkonzentration und -beweglichkeit (Hall-Messplatz, Spreading-Resistance) |
| Solarzellenmessplatz |
| Netzleistungs- und Oberwellen-Analysator |
| Normgerechte Burst/Surge-Generatoren, Load-dump, ESD |
| DC-Quellen und elektronische Lasten bis 60 kW |
| Teilentladungsmessung |
| Zth-Messplatz |
| Weitere Messtechnik: |
| Klimatestkammer |
| Motorprüfstand (bis 40 kW) |
| Lastwechseltesteinrichtung |
| Oszilloskope bis 10 GS/s (Giga-Samples/Sekunde) |
