Halbleitertechnologie

• Prozessschritte und Verfahren für höchstintegrierte Schaltungen (VLSI, ULSI)
  
• (Reinraum Klasse 10, Wafergrößen bis 200mm)
• Prozess- und Bauelementetechnik für Si und SiC (Mikro-/Nanoelektronik, Mikrosys-temtechnik, Leistungselektronik)
• Implantation von Dotierstoffen bei Nieder- und Hochenergie
• Erzeugung dünner dielektrischer und metallischer Schichten, insbes. MOCVD
• Analyse und Reparatur von Prototypen elektronischer Bauelemente
• Nanostrukturierung (Nanoimprint, Focused Ion Beam)
• Druckbare Elektronik auf Basis anorganischer Nanopartikel
• Qualifizierung von Gasen und Chemikalien
• Analytik und Messtechnik (z.B. MOS, I(U), C(U), Schichtwiderstand, Beweglichkeit, Dotierungsprofil, Hall-Effekt, Rem, TEM, Röntgenanalyse, Linienbreite, Schichtdicke, Scheibenebenheit, Scheibenverzug)
  

Halbleiterfertigungsgeräte und -methoden

• Entwicklung, Erprobung, Evaluierung, Qualifizierung und Optimierung von Halbleiterfertigungsgeräten, Fertigungstechnik, Equipment Assessment
• Regelungs- und Steuerungsverfahren (Feed-Forward, Feedback)
• Automation, Advanced Process Control, verbesserte Prozessreproduzierbarkeit
• Ausbeute-, Durchsatz-, Zuverlässigkeits-, Sicherheits- und Ressourcenoptimierung
• Integrierte Messtechnik, virtuelle Messtechnik für integrierte Qualitätskontrolle
• Akkreditiertes Analytiklabor für die Mikro- und Nanotechnologie (DIN EN ISO/IEC 17025:2005)
• Charakterisierung von Geräten, Komponenten und Materialien
• Kontaminationsanalytik: Spurenverunreinigungen auf Halbleiter- und Photovolta-iksubstraten, in Prozesschemikalien, in Prozessgasen und Reinraumumgebungen (TXRF, AAS, ICP-MS, GCMS, FTIR, VPD-AAS)
• Software-Engineering

Technologiesimulation

• Entwicklung von physikalischen Modellen und leistungsstarker Simulationssoftware für industrielle und akademische Nutzer
• Prozesssimulation (u.a. Ionenimplantation, Diffusion, Oxidation, Ätzen, Schichtabscheidung)
• Leistungsstarker Lithographiesimulator Dr.LiTHO
• 2D/3D-Bauelementesimulation, Schaltungssimulation
• Gekoppelte elektro-thermo-mechanische Simulation, z.B. für Zuverlässigkeitsuntersuchungen