Reinraumlabore

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

Reinraumlaboratorien am IISB und LEB

Das Fraunhofer IISB verfügt über einen eigenen Reinraum mit ca. 500 m2 Laborfläche.

Darüberhinaus wird gemeinsam mit dem Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (LEB) die große Reinraumhalle der Universität Erlangen-Nürnberg betrieben. Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente unterhält ein Reinraumgebäude mit einer Laborfläche von 600 m2 der Klasse 10 und 400 m2 der Klasse 1000. Die moderne Geräteausstattung bietet hervorragende Voraussetzungen für die anspruchsvollen Forschungsaufgaben im Bereich der Mikro- und Nanoelektronik. Die umfangreiche Prozesstechnik ermöglicht CMOS-kompatible Prozessschritte für die Fertigung von Teststrukturen und Testbauelementen in 150 mm-Siliciumtechnologie. Dabei sind einzelne Prozessschritte für Scheibengrößen bis hin zu 300 mm verfügbar. Darüber hinaus betreibt der LEB eine Pilotlinie zur Fertigung von Bauelementen auf Siliciumcarbid-Substraten.

Innerhalb der Arbeitsgebiete Halbleiter- und Nanotechnologie, Halbleiterfertigungsgeräte und -methoden sowie Technologie- und Bauelementesimulation werden Forschungsarbeiten durchgeführt, die sich in der Entwicklung, Optimierung und Umsetzung von Prozessschritten der Mikroelektronik-Fertigung ergänzen. Seitens des IISB wird das Forschungsspektrum um die Arbeitsfelder Kristallzucht und Leistungselektronische Systeme erweitert.