Ausstattung

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

Auflichtmikroskop Olympus MX 61

 
  • Automatische Defektdetektion
  • Fortgeschrittene Bildanalyse
  • Probengröße bis zu 20x20 cm² (gesamte Probengröße automatisiert scanbar)
  • Hardwareautofokus

Durchlichtmikroskop Olympus MX 61

 
  • IR-optimierte Komponente
  • Probengröße bis zu 20x20 cm²
  • Durchstrahlung verschiedener Halbleitermaterialien mit Dicken bis zu mehreren Millimetern möglich

Konfokales Laserscanning-Mikroskop Olympus LEXT 4000

 
  • Analyse von Oberflächen (Ermittlung 3D-Höhenprofil, Linien- und Flächenrauheitsparameter)
  • Kantenwinkel bis 80° messbar, Auflösung im nm-Bereich
  • Messbare Fläche 10x10 cm², Probenhöhe bis zu 10 cm

FTIR-Spektrometer/-Mikroskop Bruker Vertex 70 / Bruker Hyperion 2000

 
  • Messung bei Raumtemperatur
  • Mappings beispielsweise von Oi, Cs etc. im Silizium
  • Scanbare Fläche 7x10 cm²

LPS (Lateral Photovoltage Scanning)

 
  • Ermittlung der Phasengrenze von indirekten Halbleitern
  • Scanbare Fläche 30x30 cm²