Die Arbeitsgruppe Materialherstellung beschäftigt sich mit der Herstellung von Halbleiterkristallen. Das beinhaltet zum Beispiel die Kristallzüchtung wie Silizium oder Galliumnitrid. Durch geeignete Messmethoden können die Bedingungen während des Kristallwachstums in den Züchtungsanlagen sowie die Eigenschaften der hergestellten Kristalle bestimmt werden. Dabei wird die Charakterisierung auch als Dienstleistung angeboten (siehe Ausstattung).

Zur Optimierung der Fertigungsprozesse werden umfangreiche Möglichkeiten zur Prozessanalyse und Prozessmodellierung sowie für das Defekt Engineering eingesetzt.