EExif II* @ ( 1 2 ; ! & i 8 p Wasserstoff im Prozessabgas aus Halbleiterfertigungsanlagen, bisher ungenutzt in die Atmosphäre abgegeben, kann mit dem Verstromungssystem des Fraunhofer IISB in elektrische Energie gewandelt und damit weiterverwertet werden. - ' - ' Adobe Photoshop CS6 (Windows) 2017:07:28 13:18:56 Fraunhofer IISB / Thomas Richter Fraunhofer IISB 0221 @ ( o H H Adobe_CM Adobe d _ " ? 3 !1AQa"q2B#$Rb34rC%Scs5&DTdE£t6UeuF'Vfv7GWgw 5 !1AQaq"2B#R3$brCScs4%&5DTdEU6teuFVfv'7GWgw ? IJTeT>YfݡݻFmɭŎ qѻ&ɼCugwZJlm&=`ǚå 7]6e6Me̺$XԈ@6=se7Yг2>a\I۽ 3E[VmvγWpDkMm}cIٗ5.}n=k@a{ֹOlkUGTfZkٴ9?Z x K)JTe)IL)Q%2FRRUsیNˊlDdF#rTܔT gޫa#$'(تR #)Jr̜ccۓdt1?hGW+WEXq,]^{}]S@EE՚ִ9I5/:9ӲC̍uU YbV{woE>