GMM-Nutzergruppe Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik

Nutzergruppentreffen / 13. Oktober 2022

GMM-Nutzergruppentreffen 1.2.6 "Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik"

Veranstaltungsdetails

Kosten

kostenlos

Veranstaltungsort

Deutsche Werkstätten Hellerau, Moritzburger Weg 68, 01109 Dresden sowie online

Datum

13. Oktober 2022

Organisation

SGS INSTITUT FRESENIUS
Fraunhofer IISB

Einladung

Wir laden Sie herzlich ein zu unserem 20. Treffen der GMM-Fachgruppe 1.2.6 "Prozesskontrolle, Inspektion & Analytik" am 13. Oktober 2022.

Das Schwerpunktthema des Treffens ist „Oberflächenanalytik mit Hilfe Röntgen-spektroskopischer Verfahren“. Vorträge oder Diskussionsbeiträge zu diesem Thema sind herzlich willkommen.

Ziel der GMM-Fachgruppe ist es, ein offenes Forum für Diskussionen im Bereich der Prozesskontrolle, der Inspektion und der Analytik zu schaffen und einen Erfahrungsaustausch zwischen Herstellern von Halbleiterbauelementen (Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik, Photovoltaik), Geräteherstellern und Forschungseinrichtungen zu ermöglichen. Aus diesem Grund sind neben Beiträgen zum oben genannten Schwerpunktthema ebenfalls Vorträge zu anderen Themen aus dem Bereich "Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik" sehr willkommen. Sie sind daher herzlich eingeladen, interessante Themen aus Ihrem Arbeitsbereich vorzustellen. Bitte geben Sie hierzu einfach den Titel Ihres Beitrages bei der Online-Registrierung (siehe unten) an.

Die Tagesordnung sowie der Online-Link werden kurz vor dem Treffen bekannt gegeben.

Weitere Informationen über die GMM-Nutzergruppe "Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik" und ihre vergangenen Treffen finden Sie hier.

Vorläufige Tagesordnung:

8:30 Uhr	Eintreffen der Teilnehmer
9:00 Uhr	Begrüßung und Einführung Eduard Gross, SGS INSTITUT FRESENIUS GmbH, Dresden Oliver Luxenhofer, Infineon Technologies, Dresden Mathias Rommel, Fraunhofer IISB, Erlangen
9:15 Uhr	Industrielle vollautomatische Röntgencharakterisierung innerhalb von 5 s pro Messpunkt Nadine Schüler, Freiberg Instruments, Freiberg
9:45 Uhr	Oberflächen- und Dünnschichtanalytik mit Röntgenspektrometrie Burkhard Beckhoff, Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin
10:15 Uhr	Analysen von Verunreinigungen in Polymerwerkstoffen mittels phys./chem. Sonderanalytik Gerald Dallmann, SGS Institut Fresenius GmbH, Dresden
10:45 Uhr	Dimensionelle und analytische Charakterisierung geordneter Nanostrukturen mittels Röntgenfluoreszenzanalyse Philipp Hönicke, Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin
11:15 Uhr	Metal Contamination Monitoring by TXRF Spectrometer - Appendix: Rigaku at a Glance Martin Lentmaier, TELTEC Semiconductor Technic GmbH, Mainhardt
11:45 Uhr	Mittagspause
13:00 Uhr	XPS als Dienstleistung – Potential und Fallstricke René Beutner, SGS Institut Fresenius GmbH, Dresden
13:30 Uhr	Elektrische Charakterisierung mittels MDP + SPV + THz-Strahlung Nadine Schüler, Freiberg Instruments, Freiberg
14:00 Uhr	Kaffeepause
14:30 Uhr	Capabilities of the New XPS/HAXPES Scanning Microprobe Jennifer Emara, Fraunhofer IPMS CNT, Dresden
14:50 Uhr	XPS als Methode zur Charakterisierung von Graphen Günther Ruhl, Technische Hochschule Deggendorf, Deggendorf
15:20 Uhr	Abschlussdiskussion und Planung nächstes Treffen 2022 Gegen 15:45 Uhr Ende der Veranstaltung

Anmeldung

Geschlossen