Technologie & Fertigung

Die Brücke vom Material zur Anwendung

Für elektronische Bauelemente im CMOS- und Leistungsbereich steht die Technologie an erster Stelle der Forschung und Entwicklung.

Ob einzelne Fertigungsschritte für elektronische Bauteile oder ganze Prototypen, die „Technologie und Fertigung“ steht Ihnen als zuverlässiger Partner bei der Umsetzung Ihrer individuellen Projekte zur Seite. Unser Service-Spektrum umfasst dabei die gesamte Prozesskette: von Mikrotechnologien bis hin zu gedruckten makroelektronischen Systemen. Basierend auf einer umfassenden Reinraumausstattung bilden Silizium sowie Siliziumkarbidprozesse das Rückgrat der Technologie.

Beispiele laufender Aktivitäten sind Sensor-Bauelemente, die Herstellung fortschrittlicher integrierter Leistungsbauelemente, oder auch die Niedertemperaturabscheidung anorganischer Materialien durch Druckverfahren. Aktuell rückt zudem die heterogene Integration verschiedener Technologien mehr und mehr in den Mittelpunkt.  

Schwerpunktthemen

 

π-Fab

Hauptaufgabe der π-Fab ist die Fertigung maßgeschneiderter elektronischer Bauelement-Prototypen – ein Service, der auf einer fortlaufende Silizium-CMOS- sowie Siliziumcarbid-Produktionslinie in einem industriekonformen Umfeld basiert.

 

 

 

Dünnschichtsysteme

Wir erforschen Material- und Herstellungsaspekte für großflächige, flexible Bauelemente und Schaltungen. Bei deren Systemintegration realisieren wir innovative Lösungen hinsichtlich Konnektivität und Energieeffizienz.

Im Fokus unserer Untersuchungen stehen die Ionensensorik für z.B. landwirtschaftliche Analytik sowie Metalloxid-Dünnschichttransistoren für Hochfrequenzelektronik oder Displays der nächsten Generation.

 

Kontaminations- &
Prozesskontrolle

Verbesserte Methoden der Kontaminationsanalytik und Entwicklung von intelligenten Fertigungskonzepten. Entwicklung von Analysemethoden und Probenvorbereitung für die Kontaminationskontrolle bei unseren Partnern. Im Bereich der Fertigungssteuerung und -kontrolle liegt der Fokus auf flexiblen Methoden zur Fertigungsplanung und Kontrollkonzepten, um die komplette Wertschöpfungskette hinsichtlich Produktivität, Kosten und Effizienz zu optimieren.

 

Nanopatterning
& Charakterisierung

Entwicklung/Herstellung von anwenderspezifischen Mikro-/Nanostrukturen mit Hilfe von UV-Nanoimprintlithographie oder der Prozessierung mittels fokussierter Ionenstrahlen (FIB) sowie klassischer Halbleiterprozesstechnologie. Wir bieten Dienstleistungen und Entwicklungsaufgaben sowohl im Bereich FIB- und Rastersondenmikroskopie-basierter Charakterisierung als auch im Feld elektrischer Kontaminationsanalytik wie Ladungsträgerlebensdauermesstechnik oder DLTS für Prozesskontrolle/Materialcharakterisierung.

GMM-Nutzergruppen

 

Das IISB ist Teil der GMM-VDI / VDE-Gesellschaft und engagiert sich dabei besonders in folgenden Fachgruppen:

Individuelle Services & Lösungen

 

Prototype-Fabrik

π-Fab

Um den Fokus stärker auf den Kundenservice zu legen, wurde der Dienstleistungsbereich umstrukturiert und unter der Marke π-Fab als separate Einheit organisiert. Hauptaufgabe der π-Fab ist die Fertigung maßgeschneiderter elektronischer Bauelement-Prototypen – ein Service, der auf einer fortlaufende Silizium-CMOS- sowie Siliziumcarbid-Produktionslinie in einem industriekonformen Umfeld basiert.

Unsere Infrastruktur für Ihre Produkte

Das IISB verfügt über erstklassig ausgestattete Laborinfrastruktur. Dazu gehören u.a. Reinräume für Halbleitertechnologie und Aufbau- und Verbindungstechnik sowie Kristallzüchtungs- und Elektroniklabore. Auf dieser Basis liefern wir maßgeschneiderte Lösungen für die individuellen Anforderungen unserer Kunden.

 

Maßgefertigtes SiC

SiC-Services

Wir bieten umfassende F&E an, die das volle Spektrum von der Material- und Prototypentwicklung bis hin zu Modulzusammensetzung und Mechatronik-Systemen abdeckt. Dabei nutzen wir das Potential von 4H-SiC einzigartien Halbleiter. Design-Studien, Machbarkeitsprüfungen und Prototypherstellung sind nur ein Teil des umfassenden Spektrums, dass unseren Kunden zur Verfügung steht.  

Publikationen

 

Broschüren als PDF

 

Weitere Forschungsgebiete am IISB

Die gesamte Wertschöpfungskette der Leistungselektronik