Workshop  /  December 06, 2023

25. Workshop der GMM-Nutzergruppe "Abscheide- und Ätzverfahren"

Einladung

 

Im Namen der GMM-VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik laden wir Sie recht herzlich zu unserem 25. Workshop und der GMM-Nutzergruppe "Abscheide- und Ätzverfahren" ein.
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Die Schwerpunktthemen des Workshops sind „Wide-Bandgap-Halbleitertechnologie“ und „Neue Einzelprozesse für Abscheide- und Ätzverfahren”.

Ziel des jährlich stattfindenden Workshops ist es, ein offenes Forum für Diskussionen zu den Prozessbereichen Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), Plasmaunterstützte Chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Elektrochemische Abscheidung (ECD), allgemein zu Abscheideverfahren und Plasmaätzen zu schaffen und einen Erfahrungsaustausch zwischen Herstellern von Halbleiterbauelementen, Geräteherstellern und Forschungseinrichtungen zu ermöglichen. Hierzu werden im Rahmen des Workshops aktuelle Themen aus den von der Nutzergruppe betreuten Prozessbereichen vorgetragen.

Eine Übersicht der Veranstaltungen und Treffen der Nutzergruppe finden Sie hier.

Weitere Interessierte für die Mitarbeit in der Nutzergruppe sind herzlich willkommen.

Über Ihre Teilnahme am 25. Workshop der GMM-Nutzergruppe "Abscheide- und Ätzverfahren" am 6. Dezember 2023 würden wir uns sehr freuen. Zum Anmeldeformular gelangen Sie hier.