GMM-Workhop am Fraunhofer IISB
In den letzten zwei Tagen hatten wir die große Freude, Gastgeber für den diesjährigen Workshop der GMM-Nutzergruppe "Abscheide- und Ätzverfahren“ sein zu dürfen.
Dieser bietet ein einmaliges offenes Forum für den Erfahrungsaustausch zwischen Herstellern von Halbleiterbauelementen, Geräteherstellern und Forschungseinrichtungen. Neben den Möglichkeiten zum Netzwerken gab es hochkarätigen fachlichen Input aus den Bereichen Oberflächen- und Plasmatechnologien. Der thematische Schwerpunkt lag auf neuen Einzelprozessen für Abscheide- und Ätzverfahren im Bereich der Halbleiterprozessierung.
Last modified:
Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology IISB