45. Treffen der Nutzergruppe Heißprozesse und RTP

23. Oktober 2019

IMS Chips, Stuttgart

Tagesordnung

Vorstellung IMS
Martin Zimmermann, IMS Chips, Stuttgart

Vorstellung Bereich Heißprozesse
Shen Sun, IMS Chips, Stuttgart

Compact Thermal Reactors - Flexibility for R&D in Academia

Colin Wilson, Expertech Inc, Scotts Valley / Vereinigte Staaten von Amerika

RTP in MEMS Manufacturing
Jürgen Nieß, HQ-Dielectrics GmbH, Dornstadt

Alloy Stability of GeSn and SiGeSn with Sn Contents up 15 % Utilizing MBE

Daniel Schwarz, Institut für Halbleitertechnik, Universität Stuttgart

Applications of Defect Photoluminescence Imaging (DPLI) to Monitoring Crystallographic Defects during IC Processing

Gyorgy Nadudvari, Semilab ZRT, Budapest / Ungarn

The Helmholtz Innovation Lab for Ultrashort Time Annealing

Lars Rebohle, Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Nächstes Treffen:

11. November 2020

Leibniz Universität Hannover

 

Das Treffen im Mai 2020 musste aufgrund der Corona-Krise abgesagt werden.