Nutzergruppentreffen  /  12. November 2025  -  13. November 2025

Treffen der Nutzergruppen "Heißprozesse und RTP" und "Ionenimplantation"

Wir laden Sie herzlich ein zu unseren Treffen der GMM-Fachgruppen:

"Heißprozesse und RTP" am 12.11.2025

  • Beginn 13 Uhr; Ende voraussichtlich gegen 17 Uhr
  • Folgende Themen sind für das 53. Treffen der Nutzergruppe "Heißprozesse und RTP" geplant:
    Alle aktuellen Themen, die sich mit Heißprozessen und RTP beschäftigen, sind erwünscht. Nach den Vorträgen wird es ein Diskussionsforum geben.

Folgende Beiträge sind bereits eingegangen (Reihenfolge nicht bindend): 

Lars Jäger, centrotherm international AG
Leveraging the advantages of the box concept

Wilfried Lerch, Fraunhofer EMFT
www.iitvillach2026.com - Status der Planungen

Maximilian Ley, Fraunhofer IISB
Optimization of Ohmic Contacts: From Test Structure Design to Systematic RTP Process Development

Umasangar Pillai, Tarius Technology PTE LTD
Online Real-Time Monitoring of Heating Elements condition for Horizontal and Vertical Diffusion Furnaces. Technology and Benefits for Users

Lars Rebohle, Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
A flip-chip bonding approach by flash lamp annealing

Im Anschluss an das Treffen "Heißprozesse und RTP" am 12.11.2025 treffen wir uns um 19 Uhr zum Gemeinsamen Abend (außer Haus; Restaurant in Erlangen wird noch festgelegt, Selbstzahler).

Bitte geben Sie bei der Anmeldung an, ob Sie am Gemeinsamen Abend teilnehmen wollen.

 

"Ionenimplantation" am 13.11.2025,

  • Beginn 09 Uhr; Ende voraussichtlich gegen 16 Uhr
  • Folgende Themen sind für das 69. Treffen der Nutzergruppe "Ionenimplantation" geplant:
    Alle Beiträge zu aktuellen sowie exotischen Themen der Ionenimplantation sind herzlich willkommen. Auch hier ist ein Diskussionsforum geplant.

Folgende Beiträge sind bereits eingegangen (Reihenfolge nicht bindend): 

Roman Böttger, HZDR Innovation GmbH
HZDR Innovation GmbH - Dienstleister für Hochenergie-Ionenimplantationen

Benjámin Vígh, Semilab Semiconductor Physics Laboratory Co.
Usability of mercury probe systems for ion implantation characterization and monitoring

Shengqiang Zhou, Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
Superconducting Ge and SiGe by Ga implantation

 

Die Tagesordnungen werden kurz vor dem Treffen bekannt gegeben.

Wir möchten Sie gerne dazu ermuntern, selbst einen Beitrag beizusteuern, gerne auch einen sehr kurzen. Bitte geben Sie dazu den Titel und die ungefähre Dauer des Vortrags bei der Anmeldung mit an. Alle aktuellen Themen aus den Bereichen Heißprozesse und RTP sowie Ionenimplantation sind willkommen. Es besteht keine Beitragspflicht.

Bitte melden Sie sich über unser Formular spätestens bis zum 31.10.2025 an.

 

Sollten Sie während des Nutzergruppentreffens eine Übernachtungsmöglichkeit in Erlangen benötigen, empfehlen wir folgende Hotels:

Für Reisende mit dem Zug:

Für Reisende mit dem Auto: