Simulation

Charakterisierung und Optimierung von Technologien, Bauelementen und Systemen

Wir entwickeln physikalische Modelle, Algorithmen und Simulationssoftware für Halbleiterprozessschritte, Fertigungsgeräte, Halbleiterbauelemente sowie integrierte Systeme, beispielsweise für die Leistungselektronik, und bringen diese zur Anwendung. Damit unterstützen wir die Charakterisierung und Optimierung von Technologien, Bauelementen und Systemen.

Die eingesetzten Methoden reichen dabei von Berechnungen auf atomarer und molekularer Ebene bis hin zu Simulationen ganzer Systeme, beispielsweise mittels heuristischer Modelle. Unsere Arbeiten finden statt in enger Kooperation mit Halbleiterfirmen, Firmen aus dem Bereich Leistungselektronik, Material- und Geräteherstellern, Softwarehäusern und Forschungseinrichtungen.

In den letzten Jahren haben sich unsere Aktivitäten im Bereich „More than Moore“ signifikant erweitert, beispielsweise auf Themengebieten wie Analogelektronik, Low-Power-Elektronik, Leistungselektronik oder Mikrosystemtechnik.

 

Dotierung und Bauelemente

Wir befassen uns mit theoretischen und experimentellen Untersuchungen von Diffusionsprozessen in der Halbleitertechnologie. Ziel ist es dabei, die Charakterisierung und Optimierung von Prozessen zu ermöglichen. Wir entwickeln Programme zur Vorhersage von Dotierstoffkonzentrationen und wenden diese in Verbindung mit Bauelementesimulationen an.

 

Lithographie und Optik

Physikalische und chemische Modelle, numerische Algorithmen und Software für die Simulation lithographischer Prozesse stehen im Simulator Dr.LiTHO des IISB zur Verfügung. Unseren Kunden und Partners bieten wir auf dieser Basis umfangreiche Unterstützung bei der Entwicklung und Optimierung von Lithographieprozessen.

 

Struktur-
simulation

Wir arbeiten an der Entwicklung und Anwendung von Simulationsprogrammen für verschiedene Strukturen wie z.B. Halbleiterbauelemente oder -verbindungsstrukturen, aber auch makroskopische Systeme, beispielsweise aus dem Bereich der Leistungselektronik. Wir beschäftigen uns sowohl mit der Herstellung als auch dem Betrieb der entsprechenden Strukturen.

 

Gerätesimulation

Simulation von thermischen und Plasma-Prozessen für die Halbleitertechnologie und andere Anwendungsfelder.

 

Broschüren und Flyer

Weitere Forschungsgebiete am IISB

Die gesamte Wertschöpfungskette der Leistungselektronik