Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Wir unterstützen Material-, Bauelement- und Gerätehersteller und deren Zulieferer mit wissenschaftlich-technischen Lösungen im Bereich der Herstellung und Charakterisierung von Kristallen, Epitaxieschichten und Bauelementen. So können unsere Partner letztlich ihre Materialqualität verbessern und die Produktionskosten senken. Dafür identifizieren wir Defekte, die für die Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit der Bauelemente kritisch sind, und suchen nach Lösungen, um diese zu vermeiden. Wir entwickeln Technologien für neue Materialien und schneidern die Materialeigenschaften für neue Anwendungen zu. Unser Fokus liegt auf Halbleitern für Leistungselektronik, Kommunikationselektronik, Sensoren und Detektoren sowie Quantentechnologien.
Strategie
Unsere Strategie ist die Optimierung der Fertigungsprozesse durch eine Kombination aus fundierter experimenteller Prozessanalyse, maßgeschneiderten Charakterisierungstechniken und numerischer Modellierung. Dafür steht uns eine geeignete Infrastruktur zur Verfügung, bestehend aus F&E-Ofenanlagen und Epitaxiereaktoren, modernsten Messmethoden zur Untersuchung der physikalischen, chemischen, elektrischen und strukturellen Materialeigenschaften sowie leistungsfähige Simulationsprogramme für Wärme- und Stofftransportberechnungen. Prototypen können im eigenen Haus in unserer qualifizierten 150-mm-SiC-Linie oder in unserer flexiblen F&E-Linie hergestellt werden.
Kompetenzen
Wir verfügen über fundierte Erfahrung in den Bereichen Halbleiter-Kristallzüchtung, -Epitaxie und Herstellung von Halbleiter-Bauelementen einschließlich der Charakterisierung und Modellierung. In der Vergangenheit haben wir maßgeblich an der Entwicklung der VGF-Technologie für die industrielle Herstellung verschiedenster Kristallmaterialien sowie an der Epitaxie hochwertiger SiC-Schichten mitgewirkt. Mehrere nationale und internationale Auszeichnungen für die exzellenten wissenschaftlich-technischen Ergebnisse sowie für die herausragenden Beiträge zur Ausbildung von Studierenden und Ingenieuren unterstreichen die Leistungen der Abteilung Materialien.
