Materialanalyse

Wir haben Erfahrung in der Charakterisierung der optischen, elektrischen, strukturellen, physikalischen und chemischen Eigenschaften von unterschiedlichen Kristall-, Wafer- und Epi-Materialien sowie von teil- und vollprozessierten Bauelementen. Dies ermöglicht uns einerseits Servicemessungen innerhalb einer kurzen Rücklaufzeit für unsere Kunden durchzuführen. Auf der anderen Seite nutzen wir diese Toolbox, insbesondere unsere hauseigenen Epi-Reaktoren in Kombination mit der Möglichkeit, Testbauelemente herzustellen, um für die Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit der Bauelemente kritische Fehler zu identifizieren, deren Entstehung zu verstehen und gemeinsam mit unseren Kunden Lösungen zu finden, wie die kritischen Defekte vermieden werden können.

© C. Miersch / Fraunhofer IISB
SAW-Strukturen auf Saphir
© Kurt Fuchs / Fraunhofer IISB
Optische Mikroskopie und Elektronenmikroskopie
© Fraunhofer IISB
EBIC-Bild eines GaN-HEMT-Bauelementes

Leistungen

  • Identifizierung für das Bauelement kritischer Materialfehler
  • Epitaxie (SiC, AlGaN) und Bauelementprozessierung
  • Charakterisierung von Kristallen, epitaktischen Strukturen und Bauelementen:
    • optische Mikroskopie, Raster- und Transmissionselektronenmikroskopie
    • verschiedene Rasterkraftmikroskopiemethoden
    • LPS zur Bestimmung von Phasengrenzformen
    • elektrische und optische Defektspektroskopie wie
      • DLTS, optisches DLTS
      • Kathodolumineszenz, Photolumineszenz
      • PL-Scanner für das vollständige Wafer-Imaging
      • EBIC, Raman- und FTIR-Spektroskopie
      • Minoritätslebensdauermessungen (µPCD, MDP)
    • IV- und CV-Messungen und vieles mehr
  • Entwicklung maßgeschneiderter Messverfahren gemeinsam mit Messgeräteherstellern

Kernthemen

Erkunden Sie unsere Aktivitäten in den Bereichen Kristallzüchtung, Epitaxie und Bauelementprozessierung einschließlich Charakterisierung und Modellierung

Publikationen

 

Broschüren