Treffen der Nutzergruppe "Prozesskontrolle, Inspektion
und Analytik"

Das nächste Treffen der GMM-Fachgruppe 1.2.6 "Prozesskontrolle, Inspektion & Analytik" wird am 13. Juni 2024 am Fraunhofer IISB in Erlangen stattfinden. Wir laden Sie herzlich dazu ein!

Ziel der Fachgruppe ist es, ein offenes Forum für Diskussionen im Bereich der Prozesskontrolle, der Inspektion und der Analytik zu schaffen und einen Erfahrungsaustausch zwischen Herstellern von Halbleiterbauelementen (Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik, Photovoltaik), Geräteherstellern und Forschungseinrichtungen zu ermöglichen.

Der Schwerpunkt dieses Treffens liegt bei "Prozesskontrolle und Prozessanalytik in der Wafer-Fertigung". Vorträge oder Diskussionsbeiträge dazu aber auch zu anderen Themen aus dem Bereich "Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik" sind willkommen. Sie sind herzlich eingeladen, interessante Themen aus Ihrem Arbeitsbereich vorzustellen. Bitte geben Sie hierzu einfach den Titel Ihres Beitrages bei der Online-Anmeldung an.

Folgende Beiträge liegen bereits vor (Reihenfolge nicht bindend): 

PFAS Analytik im Halbleiterbereich mittels LC/MS und ICP-MS/MS
G. Hudin, Agilent Technologies

Entwicklung und Status ISFET-basierter pH-Wert-Messung
Dr. O. Hild, Fraunhofer IPMS

Am Vorabend 12. Juni 2024 treffen wir uns zu einem gemeinsamen Abendessen in der Thalermühle, Erlangen (außer Haus, Selbstzahler).

Die Teilnahme an der Veranstaltung ist kostenfrei.

Das Treffen ist als reine Präsenz-Veranstaltung geplant.

Online-Anmeldung (bitte bis zum 31. Mai)

ics-Datei mit Termin