Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology IISBProzesskontrolle, Inspektion und Analytik
Innerhalb der GMM-VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, Fachbereich 1: Mikro- und Nanoelektronik-Herstellung, Fachausschuss 2: Verfahren, wird die Fachgruppe 6: Prozesskontrolle, Inspektion & Analytik organisiert.
Ziel ist es, ein offenes Forum für Diskussionen im Bereich der Prozesskontrolle, der Inspektion und der Analytik zu schaffen und einen Erfahrungsaustausch zwischen Herstellern von Halbleiterbauelementen, Geräteherstellern und Forschungseinrichtungen bereitzustellen. Die Veranstaltungen sind für alle Interessierte kostenfrei und finden ca. ein- bis zweimal jährlich an wechselnden Orten statt. Die Veranstaltungen stehen jeweils unter einem Schwerpunktthema, sind jedoch für alle aktuellen Fragen offen. Der Fokus der Diskussionsrunden liegt auf anwenderspezifischen Problemstellungen und aktuellen Weiterentwicklungen. Vortragsunterlagen werden auf freiwilliger Basis über diese Homepage interessierten Nutzern zur Verfügung gestellt.
Das erste Treffen der Nutzergruppe hatte das Thema "Metal Contamination in Silicon Wafer Processing" und fand am 23./24. Februar 2000 unter der Leitung von Dr. Peter Eichinger (Fa. GeMeTec) statt. Eine Liste der bisherigen Treffen finden Sie weiter unten auf dieser Seite.