Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB / November 12, 2025 - November 13, 2025
Treffen der Nutzergruppen "Heißprozesse und RTP" und "Ionenimplantation"
November 12 to 13, 2025
Fraunhofer IISB, Erlangen, Germany
Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology IISB