GMM-Nutzergruppe "Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik"

Wir laden Sie herzlich ein zu unserem 22. Treffen der GMM-Nutzergruppe "Prozesskontrolle, Inspektion & Analytik" am 20. Mai 2025 bei Infineon Technologies in Dresden.

Das Schwerpunktthema des Treffens ist „Analytische Methoden zur Prozesskontrolle in der Halbleiterfertigung“. Vorträge oder Diskussionsbeiträge zu diesem Thema sind herzlich willkommen.

Ziel der GMM-Nutzergruppe ist es, ein offenes Forum für Diskussionen im Bereich der Prozesskontrolle, der Inspektion und der Analytik zu schaffen und einen Erfahrungsaustausch zwischen Herstellern von Halbleiterbauelementen (Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik, Photovoltaik), Geräteherstellern und Forschungseinrichtungen zu ermöglichen. Aus diesem Grund sind neben Beiträgen zum jeweiligen Schwerpunktthema eines Treffens ebenfalls Vorträge zu anderen Themen aus dem Bereich "Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik" sehr willkommen. Sie sind daher herzlich eingeladen, interessante Themen aus Ihrem Arbeitsbereich vorzustellen. Bitte geben Sie hierzu einfach den Titel Ihres Beitrages bei der Online-Registrierung an.

Bisher eingegangene Vorträge: 

CAMECA APT & SIMS Solutions for Semiconductor Process Control
Rene Chemnitzer, CAMECA

Contamination Control (Liquid, Air & Gas)
Dominik Groth, TSI GmbH

Messung von pH-Wert und Ionen mit Ionensensitiven Feldeffekttransistoren (ISFET)
Olaf Hild, Fraunhofer IPMS

Detection of Nanoparticle Contaminants on Wafers Using SP-ICP-MS/MS for Semiconductor Applications
Gernot Hudin, Agilent Technologies

Nanoscale Chemical Metrology of Resist Materials for Advanced Patterning
Anne-D. Müller, Anfatec Instruments AG

Edge Inspection and Defect Classification via Random Forest
Steffen Oppel, Intego GmbH

Analysis of wide-bandgap semiconductor materials by optical defect spectroscopy and Terahertz Time-Domain Spectroscopy
Christian Röder, Fraunhofer IISB

Metrology Solutions for 2D materials
Roland Seitz, HORIBA Jobin Yvon GmbH

Die vollständige Tagesordnung wird kurz vor dem Treffen bekannt gegeben.

Die Teilnahme an der Veranstaltung ist kostenlos. Um Anmeldung bis zum 6. Mai 2025 wird gebeten.
Bitte haben Sie Verständnis, dass wir aufgrund der Räumlichkeiten die maximale Teilnehmeranzahl auf 60 limitieren müssen.

Online-Anmeldeformular
 

Weitere Informationen über die GMM-Nutzergruppe "Prozesskontrolle, Inspektion & Analytik" und ihre vergangenen Treffen finden Sie hier.