Workshop der GMM-Nutzergruppe "Abscheide- und Ätzverfahren"

Ziel der GMM-Nutzergruppe "Abscheide- und Ätzverfahren" ist es, ein offenes Forum für Diskussionen zu den Prozessbereichen Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), Plasmaunterstützte Chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Elektrochemische Abscheidung (ECD), allgemein von Abscheideverfahren und dem Plasmaätzen zu schaffen und einen Erfahrungsaustausch zwischen Herstellern von Halbleiterbauelementen, Geräteherstellern und Forschungseinrichtungen zu ermöglichen. Hierfür werden von den Organisatoren die Nutzergruppentreffen und Workshops veranstaltet.

Der öffentliche Workshop widmet sich in diesem Jahr dem Thema „Neue Einzelprozesse für Abscheide- und Ätzverfahren“. Die Teilnahmegebühr beträgt 120 EUR (ausgenommen Vortragende).

Online-Anmeldung

(bitte bis 25. November anmelden)