Akkreditiertes Analytik-Labor für die Mikro- und Nanotechnologie am Fraunhofer IISB

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Das Analytik-Labor für Mikro- und Nanotechnologie am Erlanger Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB wurde durch die Deutsche Gesellschaft für Akkreditierung nach DIN EN ISO/IEC 17025:2005 akkreditiert. Das Prüflabor in Erlangen führt Tests im Bereich physikalische, physikalisch-chemische und chemische Analyse von Substraten, Medien und Materialien für die Mikro- und Nanotechnologie durch. Durch die Akkreditierung des Prüflabors demonstriert das Fraunhofer IISB seine Expertise und Vorreiterrolle im Bereich der Spuren- und Materialanalyse für die Mikro- und Nanoelektronik.

© Fraunhofer IISB
Reinraumbereich des Analytik-Labors für Mikro- und Nanotechnologie am Fraunhofer IISB in Erlangen

Am IISB werden Halbleiterprozesse charakterisiert und Proben von Halbleiterscheiben, Reinstchemikalien, Verbrauchsmaterialien oder Konstruktionswerkstoffen untersucht. Diese kommen in Schlüsselindustrien, wie z.B. der Chipindustrie, der Mikrosystemtechnik oder der Photovoltaik zum Einsatz. Weiterhin finden Ausrüster und Zulieferer für Hightech-Produktionsanlagen und messtechnische Überwachungseinrichtungen Unterstützung. Ein weiteres Spezialgebiet ist die Kontrolle von Umgebungsbedingungen und Kontaminationen in Reinsträumen und sogenannten Minienvironments. In all diesen Bereichen profitieren vor allem auch kleine und mittlere Unternehmen, die sich keine eigene Labor-Infrastruktur leisten können oder wollen.

Die Akkreditierung ist ein international anerkannter Nachweis der Kompetenz in Prüfmethodik, Messgeräteausstattung und Infrastruktur. Darüber hinaus garantiert sie Unparteilichkeit. Neben der Kalibrierung von Messtechniken und der Validierung analytischer Methoden wird beispielsweise auch die vertrauliche Handhabung der Prüfergebnisse bestätigt. Ebenso wird die Zuverlässigkeit des Dokumentenmanagements bescheinigt.

Eine Akkreditierung nach ISO 17025 geht über die Zertifizierung nach ISO 9001 hinaus. Sie bedeutet zusätzlich den Nachweis technischer Kompetenz. Die Akkreditierung garantiert die Rückführbarkeit der Analyseergebnisse auf SI-Einheiten und eine bekannte Messunsicherheit, wodurch die Vergleichbarkeit von Analyseergebnissen zwischen verschiedenen Laboren garantiert wird. Der Betrieb des Prüflabors nach den Richtlinien der ISO 17025 gewährleistet auch die fortlaufende Weiterentwicklung und Verbesserung der analytischen Methoden.

Akkreditierungen sind essentiell in qualitätsgetriebenen Industriezweigen, wie beispielsweise der Automobilherstellung, Mikroelektronik und Pharmaindustrie. Auch im  jungen Bereich der Nanotechnologien gewinnt die Verfügbarkeit akkreditierter Labore zunehmend an Bedeutung. Durch die langjährige Expertise auf den Gebieten analytische Technik, Messtechnik und Kalibrierung empfiehlt sich das Fraunhofer IISB als Partner in der FuE für Universitäten, Forschungsinstitute und die Industrie auf internationaler Ebene.

Teile der zugrundeliegenden Arbeiten wurden durch die Europäische Kommission unter dem Vertrag RII3 026134 gefördert.

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