49. Treffen der Nutzergruppe Heißprozesse und RTP

Königlicher Pferdestall der Universität Hannover

Begrüßung
Anton Bauer, Fraunhofer EMFT, München
Wilfried Lerch, Fraunhofer EMFT, München

Vorstellung der Universität Hannover
Jan Krügener, Institut für Materialien und Bauelemente der Elektronik, Hannover

Laser Annealing von Si- und SiC-Wafern mit Hochleistungs-Festkörperlasern
Sebastian Geburt, lnnovavent, Göttingen

Contact Annealing for SiC Power Devices in a Box-Free Process
Peter Benkart, Mattson Thermal Products, Dornstadt

Einfluss der Ausheilungsbedingungen auf die elektrischen Eigenschaften von pn-Übergängen
Jan Krügener, Institut für Materialien und Bauelemente der Elektronik, Hannover

Customized RTP Systems as Key Factor for Success
Christopher Curran, UniTemp, Pfaffenhofen an der Ilm

Hochohmige Poly-Widerstände, Theorie, Experiment und Grenzen
Anton Bauer, Wilfried Lerch, Fraunhofer EMFT, München