Workshop "PVD"

June 09, 1999

Fraunhofer IISB, Erlangen

PVD

CVD / PVD im Clustertool
Jörg Syre, Fraunhofer ISIT

Force Fill
Jürgen Förster, Infineon Technologies AG

W-CVD
Wolfram Karcher, Infineon Technologies AG

Standardisierung von Messungen
Wolfgang Lehnert, Fraunhofer IISB

In situ Messungen
Wolfgang Lehnert, Fraunhofer IISB