GMM User Groups / Nutzergruppen (in German)

Innerhalb der GMM-VDE / VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik im Fachbereich 1: Mikro- und Nanoelektronik-Herstellung beschäftigen sich im Fachausschuss 2: Verfahren insgesamt 6 Fachgruppen mit den verfahrenstechnischen Aspekten der Halbleitertechnologie.

Mitarbeiter des Fraunhofer IISB sind dabei besonders engagiert in den Fachgruppen:

• Ionenimplantation
• Heißprozesse
• Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik
• Abscheide- und Ätzverfahren
• Yield Enhancement